UL5000 氦氣檢漏儀設(shè)計(jì)用于滿足*關(guān)鍵和*苛刻的檢漏應(yīng)用。通過在經(jīng)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的真空設(shè)計(jì)中采用 INFICON **軟件算法 I-CAL 和 Hydro-S，UL5000 提供測(cè)試靈活性、高靈敏度和快速、**的測(cè)量結(jié)果，使得所有檢漏應(yīng)用更迅速、容易。

 該 UL5000 在所有測(cè)量范圍中提供快速響應(yīng)時(shí)間，并提供極短的周期時(shí)間以達(dá)到測(cè)試條件和*終結(jié)果。特別設(shè)計(jì)的真空結(jié)構(gòu)提供持續(xù)、較高的氦氣抽氣能力及極快的響應(yīng)時(shí)間。

功能

• HYDRO-S（氫氣抑制）可確保快速滿足所有測(cè)試條件。
• I-CAL（智能 - 泄漏率計(jì)算法）確保了在所有測(cè)量范圍中提供快速泄漏響應(yīng)。
• 特殊的多入口渦輪分子泵可提供優(yōu)化的較高氦氣抽氣能力及全壓力范圍內(nèi)的高氦氣壓縮比，實(shí)現(xiàn)了**靈敏度、響應(yīng)度和快速清潔性。
• 增壓渦輪分子泵可對(duì)所有測(cè)試對(duì)象做出極快響應(yīng)，包括*大容量和腔室。
• 經(jīng)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的 INFICON 扇形磁場(chǎng)質(zhì)譜儀多年以來的**、可重復(fù)結(jié)果實(shí)現(xiàn)了無故障、免維護(hù)的設(shè)計(jì)。
• 自保護(hù)功能可防止 UL5000 受到氦氣和微粒的污染，自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保 UL5000 的隨時(shí)可用性。
• 旋轉(zhuǎn)式顯示器/控制界面和可選配的手持遙控器實(shí)現(xiàn)了操作靈活性。
• 裝置和系統(tǒng)軟件的訪問控制可通過軟件激活，防止未授權(quán)使用或測(cè)試設(shè)置的意外修改。
• 通過電子郵件進(jìn)行的軟件更新可確保您的 UL5000 發(fā)揮*佳性能。
• 具有*佳高度工作面的工作站設(shè)計(jì)以及 ESD 臺(tái)墊和工具箱實(shí)現(xiàn)了測(cè)試便利性。

典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體和平板顯示裝置上使用的測(cè)漏部件、配件和大型腔室
• 檢漏半導(dǎo)體和平板工具
• 檢漏航空部件、配件和系統(tǒng)
• 檢漏儲(chǔ)存容器/儲(chǔ)存罐

• 規(guī)格

  類型		UL5000 Helium Leak Detector
  氦氣（真空模式）*低可檢漏率	mbar?L/s	<5E-12
  氦氣（吸**式）*低可檢漏率	mbar?L/s	8E-8
  GROSS 模式*大進(jìn)氣口壓力	mbar	15
  FINE 模式*大進(jìn)氣口壓力	mbar	2
  ULTRA 模式*大進(jìn)氣口壓力	mbar	0.4
  抽真空期間的抽氣能力	m3/h	25 at 50 Hz
  GROSS 模式氦氣抽氣能力	L/s	max 8
  FINE 模式氦氣抽氣能力	L/s	max 20
  ULTRA 模式氦氣抽氣能力	L/s	>20
  可檢測(cè)質(zhì)量數(shù)		2,3,4 amu
  質(zhì)譜儀扇形場(chǎng)		180 °C
  燈絲離子源銥/氧化釔涂層		2
  內(nèi)置校準(zhǔn)測(cè)試漏孔		E-7
  測(cè)試端口		DN40KF
  可調(diào)觸發(fā)器		2
  接口		RS232
  圖形記錄器輸出		2 x10 V
  輸入/輸出		PLC compatible
  允許的環(huán)境溫度（操作過程中）	°C	+10...+40
  保護(hù)類型		IP 20
  重量	kg                                               lb.	140
  尺寸（長(zhǎng)x寬x高）	mm                                               in.	1068x530x1083
  電源電壓	V (ac)                                               V (ac)                                               V (ac)	230(+-10%)50Hz
  功耗	VA	1100

 SYSMAC-SE201L  SYSMAC-SE203L  MST-220AN  SYSMAC-SE210L  SYSMAC-SE230L  MST-220ALC  SYSMAC-SE250L  SYSMAC-VE001L  MST-220BL  FH-AP1  FH-AP1L  MST-220BNC  MST-220BN   MLC-2200  MLC2200AL  FZ4-H1100  MLC2200ANC  FZ4-H1105  MLC2200ALC  FZ4-H1100-10  MLC2200BN  FZ4-H1105-10  MLC2200BL  FZ4-H1150  MLC2200BNC