UL1000 Fab 移動(dòng)式氦氣 檢漏儀特別設(shè)計(jì)用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。憑借**環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級(jí)中的簡(jiǎn)單使用性、檢漏效率性和移動(dòng)性，UL1000 Fab 在所有測(cè)量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng)。

通過(guò)結(jié)合較高氦氣抽氣能力和高進(jìn)氣口壓力的*佳真空結(jié)構(gòu)，UL1000 Fab 提供的****的泄漏率低達(dá) < 5x10-12 atm cc/s。**軟件 I-CAL（智能泄漏率計(jì)算法）讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時(shí)較長(zhǎng)反應(yīng)時(shí)間的煩惱，因?yàn)?UL1000 Fab 能夠?qū)λ行孤┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。

使用額外的 TC1000 測(cè)試盒配件，UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡(jiǎn)單、快速、**的測(cè)試，如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù) MIL-STD 883，方法 1014）。

功能

• 15 級(jí)的寬測(cè)量范圍
• 較短的抽氣和響應(yīng)時(shí)間
• 移動(dòng)式全金屬外殼，增加了便利性，具有**可操作性
• I-CAL 確保了在所有測(cè)量范圍中提供*快的泄漏響應(yīng)時(shí)間
• 抑零功能和自動(dòng)積分時(shí)間校正，可提供快速、可靠的測(cè)試結(jié)果
• 含堅(jiān)固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計(jì)，提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比
• 旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許簡(jiǎn)單、輕松控制裝置以及與其進(jìn)行交互
• 自保護(hù)功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
• 自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保清理并隨時(shí)可進(jìn)行測(cè)試
• 通過(guò)電子郵件進(jìn)行軟件更新
• 含兩個(gè)燈絲離子源（3 年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長(zhǎng)的運(yùn)行時(shí)間和較低的維護(hù)成本
• 內(nèi)部校準(zhǔn)用的內(nèi)置測(cè)試漏孔確保了**的測(cè)試結(jié)果

典型應(yīng)用

• 對(duì)半導(dǎo)體加工工具執(zhí)行維護(hù)作業(yè)，無(wú)論是否具有自有泵支持
• 需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測(cè)試條件的應(yīng)用
• 在現(xiàn)有工具中安裝前對(duì)部件執(zhí)行檢漏
• 工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝
• 內(nèi)置軟件菜單“自動(dòng)測(cè)漏”功能可使用 TC1000 測(cè)試盒執(zhí)行密封組件的自動(dòng)測(cè)試

  類(lèi)型		Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
  氦氣（真空模式）*低可檢漏率	mbar?L/s	<5E-12
  氦氣（真空模式）*低可檢漏率	mbar?L/s	<5E-12
  氦氣（吸**式）*低可檢漏率	mbar?L/s	8E-8
  GROSS 模式*大進(jìn)氣口壓力	mbar	15
  FINE 模式*大進(jìn)氣口壓力	mbar	2
  ULTRA 模式*大進(jìn)氣口壓力	mbar	0.4
  抽真空期間的抽氣能力	m3/h	25 at 50 Hz
  GROSS 模式氦氣抽氣能力	L/s	max. 8
  FINE 模式氦氣抽氣能力	L/s	7
  ULTRA 模式氦氣抽氣能力	L/s	2.5
  可檢測(cè)質(zhì)量數(shù)		2,3,4 amu
  質(zhì)譜儀扇形場(chǎng)		180°
  燈絲離子源銥/氧化釔涂層		2
  內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔	mbar?L/s	e-7
  測(cè)試端口	DN 25 KF	1
  可調(diào)觸發(fā)器		2
  接口		RS 232
  圖形記錄器輸出	V	2 x10
  輸入/輸出		PLC compatible
  允許的環(huán)境溫度（操作過(guò)程中）	°C	+10.....+40
  保護(hù)類(lèi)型		IP 20
  重量	kg                                               lb.	110
  尺寸（長(zhǎng)x寬x高）	mm                                               in.	1068x525x850
  電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
  電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
  電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
  功耗	VA	1100

 FZ-VSL  FZ-VSJ  FZ-VM  FH-VMRGB  MKX-10  MKX-11  FZ-VP  FZ-VPX  XW2Z-S013  MKX-10A  MKX-8  MKX-8A  XS6W-6LSZH8SS□CM-Y  XS5W-T421-□MD-K  XS5W-T421-□MC-K  XS5W-T422-□MC-K  MX-5  KETH-SB  FAE-5004  MPS588-C  KETH-PSB-OMR  XS6G-T421-1  F-LINK-E  MPS588  FZ-M08  FZ-MEM2G  FZ-MEM8G  HMC-SD291  HMC-SD491  FZ-VESA  FZ-DS  FZ-DU  GX-JC03  MST-220BLC  GX-JC06  W4S1-03B  W4S1-05B  W4S1-05C  SYSMAC-SE200D